MEMS线性加速度传感器概述： 线性加速度传感器的MEMS传感器基于交叉式梳形硅结构，由固定的和可移动的指状元件组成。为了检测不同方向上的加速度，这些结构以正交群封装。每个方向上的加速通过测量实现与该轴相关的可移动元件的变动原理，然后检测到的运作由传感器转化成模拟或数字信号。 MEMS线性加速度传感器的主要特性有： 优异的抗冲击能力 标准模式下的低消耗 省电模式 加速噪声密度： <50ug/Hz 嵌入式自检 操作温度范围：-40/+85°C 高温稳定性 寿命周期高稳定性 采用表面成型封装 符合RoHS标准
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